光刻中什么i线和g线在光刻技术中,i线和g线指的是什么,波长不一样吗,还是原理?
来源:学生作业帮助网 编辑:作业帮 时间:2024/06/22 01:06:40
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光刻中什么i线和g线
在光刻技术中,i线和g线指的是什么,波长不一样吗,还是原理?
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指的是波长,i线是指365nm,g线是指436nm,高压汞灯中能量最高的两个谱线.波长越短,光刻分辨率越高.
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