PVD高手,请问工具pvd后颜色异常有什么影响?

来源：学生作业帮助网编辑：作业帮时间：2024/05/10 01:17:41

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颜色如果从工艺角度来看,主要影响因素有偏压的大小,和反应气体的用量,靶功率的大小等,一般情况下你工艺调试到位后这些是不会变化的,如果突然发生变化,要考虑到你靶材的消耗,或是设备有漏气等其它因素,这要看具体的情况.

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