单晶炉一般是怎么冷却的.

来源:学生作业帮助网 编辑:作业帮 时间:2024/05/16 01:42:47
单晶炉一般是怎么冷却的.

单晶炉一般是怎么冷却的.
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单晶炉一般是怎么冷却的.
你是指哪部份冷却?
1.生产过程中单晶炉靠水冷带走温度冷却,也是我们常说的循环水~
2.停炉后的冷却,是靠Ar气带走温度,自然冷却~

单晶炉99.99%是水冷,氩气不是起冷却作用的

一般用氩气冷却,或者等硅料结晶后 用氮气冷却,冷却的时间根据单晶炉热场大小! 2楼的是在钻牛角尖。

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