在不打开真空腔的前提下,怎么判断磁控溅射靶材有没有用完,有什么特殊现象?

来源:学生作业帮助网 编辑:作业帮 时间:2024/05/06 18:05:28
在不打开真空腔的前提下,怎么判断磁控溅射靶材有没有用完,有什么特殊现象?

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辉光或弧光变色.一些靶用完了会露出不锈钢底,放出的辉光肯定是不同颜色或形状的.

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